超纯水设备

一、 超纯水概念

超纯水是指下列杂质含量极低的水：

① 无机电离杂质，如：Ca、Mg、Na、K、Fe2+、Fe3+、Mn、Al、HCO、CO、SO、Cl、NO、NO、SiO、PO等；

② 无有机物，如烷基苯磺酸、油、有机铁、有机铝以及其他碳氢化合物等；

③ 无颗粒物，如尘埃、氧化铁、铝、胶体硅等；

④ 无微生物，如细菌、浮游生物和藻类等；

⑤ 无溶解气体，如N2、O2、CO2、H2S等。超纯水中电离杂质的含量用水的电阻率数值来衡量。

理论上，纯水中只有H离子和OH离子参加导电。在25℃时超纯水的电阻率为 18.3（兆欧·厘米），一般约为15～18（兆欧·厘米）。

二、 超纯水制取工艺

超纯水是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置、EDI电除盐装置、抛光混床单元等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm（25℃）。

三、超纯水设备应用场合

1、电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。

2、化工工艺用水、化学药剂、化妆品等用纯水。

3、单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装 、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件 、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺用纯水。

四、常用纯水的制取工艺选择